佰视特三维表面轮廓仪
光学仪器产品特性:
1 采用白光同轴向色散技术,可获得纳米级的分辨率
2 测量具有非破坏性,测量速度快,精确度高
3 测量范围广,可测透明、金属材料,半透明、高漫反射,低反射率、抛光、粗糙材料(金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿…);
4 尤其适合测量高坡度高曲折度的材料表面
5 不受样品反射率的影响
6 不受环境光的影响
7 测量简单,样品*特殊处理
8 Z方向较大测量范围为27mm
三维表面轮廓仪设备
三维表面轮廓仪的主要性能指标
1. 仪器类型:非接触式三维表面光学轮廓仪;
2. 仪器技术:白光色散共焦测量技术;
3. Z方向扫描范围不可小于10µm;
4. XY方向扫描范围不可小于150mm;
5. 支持样品反射率在0.05%到**之间变化;
6. Z方向聚焦要不小于100mm;
7. Z方向扫描速度不能小于47µm/sec;
三维表面轮廓仪在测量中是如何计算测量的移动平均
三维表面轮廓仪的光谱共焦技术对于位移测量的稳定性远远**传统的激光位移传感器,所以专业的三维表面轮廓仪光谱共焦位移传感器输出测量值时是不加任何的移动平均的,多数低端光谱共焦位移传感器因为自身稳定性差,都需要加1024次甚至更高的移动平均来让测量数据稳定下来。移动平均较大的问题就是在运动测量中让测量数据完全偏离被测表面真实形状。三维表面轮廓仪的光谱共焦位移传感器正常模式下均采用无移动平均模式测量。
佰视特三维表面轮廓仪(3D Profiling)
该仪器采用白光轴同轴色散原理(性能优于白光干涉轮廓仪与激光干涉轮廓仪)对样品表面进行快速、重复性高、高分辨率的三维测量,测量范围可从纳米级粗糙度到毫米级的表面形貌,台阶高度,给MEMS、半导体材料、太阳能电池、医疗工程、制药、生物材料,光学元件、陶瓷和先进材料的研发和生产提供了一个精确的、价格合理的计量方案
三维表面轮廓仪的测量光斑尺寸 共聚焦效应较关键的就是将反射光聚焦到针孔上,然后光感应器件接收透过针孔的光信号解析位移测量值,整个光学原理决定着测量光斑越小,系统分辨率和精度越高。欧系传感器的测量光斑都会做到对应量程的较致小,而日系和国产传感器因为收光能力弱,系统稳定性差,只能刻意放大测量光斑尺寸,以至于导致传感器精度严重下降,但是从分辨率上不会明显显现,其实把传感器的测量光斑做的**大就像把传感器做成了“智障”。另外,传感器的横向分辨率是测量光斑的一半,测量光斑大小会决定了传感器的横向分辨率,比如测量一个0.1mm的边沿,测量光斑小的传感器可以轻松测量到,三维表面轮廓仪测量光斑过大的传感器完全无法测量微小的区域。三维表面轮廓仪的光谱共焦位移传感器测量光斑基本在10-20um。
三维表面轮廓仪及分析仪在测量产品时有什么优点和长处呢?
三维表面轮廓仪即3D轮廓测量及分析仪可以应用于工业现场进行电池较耳焊印毛刺的形貌测量、较片分条后的波浪边测量,是高精度厚度测量设备,为测量带来便利,3D轮廓测量及分析仪使用寿命长,利用高精度2D位移传感器对被测物进行扫描,得到被测物表面轮廓相关数据后,可以对产品进行各种矫正和分析,得出需要的高度、锥度、粗糙度、平面度等物理量。大大提升了产品生产合格率,节省了生产成本。 测量原理: 利用高精度2D位移传感器对被测物进行扫描,得到被测物表面轮廓相关数据后,对其进行各种矫正和分析,得出需要的高度、锥度、粗糙度、平面度等物理量。
三维表面轮廓仪之核心部件光谱共焦传感器的特性是什么?
使用光谱共焦传感器的特性主要有以下
使用光谱共焦测量技术,可以得到**高分辨率。纳米级分辨率源于上述经过特殊处理得到的加长光谱范围。由于采用检测焦点的颜色,得到距离信息,光谱共焦传感器可以采用非常小的测量光斑,从而允许测量非常小的被测物体。这也意味着,即使被测表面有非常轻微的划痕,也逃不过光谱共焦传感器的眼睛。
由于三维表面轮廓仪光谱共焦传感器的光路非常紧凑和集中,使其非常适合测量钻孔结构。而其他测量方式,如激光三角反射式测量,对于小孔往往无能为力,因为小孔形成的阴影会遮挡反射光的光路,无法进行测量。针对这种小孔测量任务,三维表面轮廓仪的微型光谱共焦传感器探头。这种探头拥有仅4mm的探头直径,可以探入小孔内部进行测量。
三维表面轮廓仪在运动中测量,编码器同步硬触发特色功能
三维表面轮廓仪的光谱共焦测量技术因其**的分辨率从研发之初就是作为一种扫描测量的传感器,可以实现运动中扫描测量,不是像传统激光位移传感器只能做**高度测量。中国自动化行业的设备商因为个别家传感器自身的硬件局限还未完全实现通过在运动过程中给硬件I/O触发或者读取编码器信号的方式进行全速的运动中测量。三维表面轮廓仪光谱共焦位移传感器拥有自己的编码器转换和分频模块,可以将编码器差分或单端信号转换成I/O触发给传感器,同时解决了软触发测量效率低、稳定性差以及同步性差的问题。
三维表面轮廓仪和粗糙度仪的功能差异主要在以下几个方面
1、关于三维表面轮廓仪与粗糙度仪 轮廓仪与粗糙度仪不是同一种产品,三维表面轮廓仪主要功能是测量零件表面的轮廓形状。 比如:汽车零件中的沟槽的槽深、槽宽、倒角(包括倒角位置、倒角尺寸、角度等),圆柱表面素线的直线度等参数。总之,轮廓仪反映的是零件的宏观轮廓。
2、粗糙度仪的功能是测量零件表面的磨加工/精车加工工序的表面加工质量,通俗地讲,就是零件表面加工得光不光(粗糙度老国标叫光洁度),即粗糙度反映的是零件加工表面的微观情况。 但是,按进口产品翻译过来,没有三维表面轮廓仪和轮廓仪及粗糙度仪之分,即能测量零件表面的宏观轮廓,又能测量零件表面的微观轮廓。