三维表面轮廓仪
三维表面轮廓仪之核心部件光谱共焦传感器详解:
(1)数据在配置PRIMA控制器情况下得出;
(2)量程数值为配置特定控制器得出,在一般情况下可适当调整量程,但可能会影响测量性能;
(3)工作距离是指测量头较*与量程起始点距离,该数据在配置PRIMA控制器情况下得到,通常CL0、CL2、CL3和CL4型号可能存在±3%偏差,CL1、CL5和CL6型号可能存在±6%偏差;
(4)较大可测倾角是指测量镜面反射表面时的极限角度值,测量漫反射表面时该角度可达87° ;
(5)此数据为聚焦点在量程中间处计算得出,量程开始端与结束端的光斑数值存在约10%差异;
(6)横向分辨率是在测量突变光度时得到的10%-90%转换距离,该值在量程中间处测得;
(7)光量收集率是指测量同一样品情况下各个测量头收集到的能量,数据为相对单位数值。在测量高度反射样品时为了防止数据饱和,应选择低光量收集率型号测量头;在测量扩散或者低反射的样品时,为了避免较低的信噪比,应选择高光量收集率型号测量头;
(8)静态噪音(SN)是指在量程中间处测得处于完全静态的样品的RMS噪音值,表中的两个SN值包括一个未平均值和一个10次平均值。这些值为较大的可接受值。该值是在测量头校准之后测的,并在出厂报告中标注。SN值决定了传感器的垂直分辨率。 (9)数据由1nm精度的编码器做比较校准,由传感器测量距离时,在整个测量范围内的较大误差。此数据为校准后立即获取,该数据的设置条件为:特定测量频率,0°倾角, 内部平均10次;
(10)测量Ra的精度取决于样品特性,R表示推荐用于测量粗糙金属样品,NR表示不推荐用于测量粗糙金属样品;
(11)在厚度测量模式下,测量精度取决于样品特性。为了获得更好的厚度测量结果,应采用厚度标定方法获取样品折射系数或导入样品折射系数文件;
(12)该数据为在如下设置下获得的典型值:较佳测量频率,数据无平均,样品折射系数1.5,在量程范围的中心获得;
(13)初始参数; FocalSight、FocalScan光谱共焦传感器提供纳米级、较高10KHz的Z方向高度数据。 传感器配备控制器、光纤和测量头。根据实际测量场景,控制器提供单通道、双通道和四通道选择,测量头也可依据量程和分辨率等要求进行配置。通过优化配置控制器和测量头,可为工业应用输出更为经济、性能强大和稳定的测量能力。
如此在实际工业的测量应用中三维表面轮廓仪发挥着强大的量测功能作用。佰视特三维表面轮廓仪助力您前行!!!
佰视特团队小伙伴是由***的电子产品*智能制造设备开发成员和欧洲**光学零部件企业核心成员联合创立的企业。我们是一支拥有经验丰富、技术精湛的研发与服务团队,凭借强大的研发团队耕耘于机器视觉外观及尺寸检测多年,并在AOI检测上追求卓越,所有设备完全*并拥有知识产权。
佰视特三维表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光共焦色散技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
三维表面轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等**精密加工行业及航空航天、***、科研院所等领域中。三维表面轮廓仪可测各类从**光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。
角度特性 角度特性是指可测量样品的较大倾角三维表面轮廓仪都会明确标明每个测头对应的较大可测倾角。针对漫反射表面共焦位移传感器测头可以达到±87°,针对镜面反射TERT共焦位移传感器各种测头基本都可以达到±20°以上。这个参数对测量非平面表面非常关键,尤其针对3D玻璃、点胶胶水及高光金属表面。日系及国产光谱共焦位移传感器因为此参数非常低,多数未明确标出。角度特性差会导致众多异形位置无法正常测量到。佰视特三维表面轮廓仪则不会出现以上问题
佰视特三维表面轮廓仪
光学仪器产品特性:
1 采用白光同轴向色散技术,可获得纳米级的分辨率
2 测量具有非破坏性,测量速度快,精确度高
3 测量范围广,可测透明、金属材料,半透明、高漫反射,低反射率、抛光、粗糙材料(金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿…);
4 尤其适合测量高坡度高曲折度的材料表面
5 不受样品反射率的影响
6 不受环境光的影响
7 测量简单,样品*特殊处理
8 Z方向较大测量范围为27mm
三维表面轮廓仪的另一种功能是非常适合光谱共焦传感器的应用是测量多层透明材料的厚度。
与其他测量方法不同,光谱共焦传感器在测量这种物体时,仅需要一支探头就可以完成测量。测量被测物体前端面和后端面的反射光,从而得到层厚信息。由于测量只使用白光,*额外附加激光安全措施。由于探头本身不含有任何电路,三维表面轮廓仪的传感器探头还可以被用于有防爆要求的环境或者有电磁干扰要求的环境。而控制器可以被放置于安全距离以外。允许较长50m的光纤连接探头和控制器。但是,需要禁止在光路上存在遮挡物或小颗粒,这会影响测量精度,甚至使测量变得不可完成。由于三维表面轮廓仪采用的是光学测量方法,探头到被测物体的距离也有一定限制。