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佰视特三维表面轮廓仪在微纳米尺度上的光学表面轮廓测量技术的。
佰视特生产的三维表面光学轮廓仪是目前国际上用在科学研究和工业领域表面轮廓测量设备,该公司在光学设计、精密机械和科学软件算法方面,拥有长期不断发展的**技术,由于这些技术的应用,佰视特为生产和质量控制的研究和发展提供精密准确的解决方案。佰视特在微纳米尺度上的光学表面轮廓测量技术的,生产的光学轮廓仪是目前国际上用在科学研究和工业领域表面轮廓测量设备,该公司在光学设计、精密机械和科学软件算法方面,拥有长期不断发展的**技术,由于这些技术的应用,佰视特为生产和质量控制的研究和发展提供精密准确的解决方案。 ERT的表面测量系统适用于研发和生产过程控制中的定性和定量测量,其核心部件达到纳米尺度的创新的光学设计,其强大且友好的软件控制使所需获得的数据不仅速度快,而且精度高,并提供了多种不同的表面分析方法,与系统匹配的软件包含参数设定(如扫描尺寸、线数、步进、转换台速度、数据采样速度)和数据后处理功能(如Abbott-Firestone曲线、快速傅立叶变换、自相关功能、三维成像、二维切片成像等) ,可以定量地测量表面粗糙度及关键尺寸,诸如晶粒、膜厚、孔洞深度、长宽、线粗糙度、面粗糙度等,并计算关键部位的面积和体积等参数。 垂直测量范围:27mm 垂直分辨率:<2nm 扫描速度 1m/s 横向分辨率:5nm .
佰视特BOST系列三维表面轮廓仪有哪些功能作用呢?
三维表面轮廓仪的功能特色
1、 高精度、高重复性
1) 采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和优异的3D重建算法组成测量系统,保证测量精度高;
2) *特的隔振系统,能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动,消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声,**仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用,获得较高的测量重复性;
2、 三维表面轮廓仪的一体化操作的测量分析软件
1) 测量与分析同界面操作,无须切换,测量数据自动统计,实现了快速批量测量的功能;
2) 可视化窗口,便于用户实时观察扫描过程;
3) 结合自定义分析模板的自动化测量功能,可自动完成多区域的测量与分析过程;
4) 几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析功能模块齐全;
5) 一键分析、多文件分析,自由组合分析项保存为分析模板,批量样品一键分析,并提供数据分析与统计图表功能;
6) 可测依据ISO/ASME/EUR/GBT等标准的多达300余种2D、3D参数。
3、 三维表面轮廓仪的精密操纵手柄
集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄,可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。
4、三维表面轮廓仪 之双通道气浮隔振系统
既可以接入客户现场的稳定气源也可以采用便携加压装置直接加压充气的双通道气浮隔振系统,在无外接气源的条件下也可稳定工作。
三维表面轮廓仪的功能技术参数
1. Z 方向精度 < 0.01nm;
2. RMS重复性(PSI)< 0.01nm;
3. 能够提供多种FOV,从而让物镜放大倍率在5X到100X之间切换;
4. 在任何物镜倍率下都要达到亚埃级至毫米级垂直测量量程;
5. 支持高亮度的双LED光源;
6. 支持实时观测样品台X、Y、Z、轴方向上的调节;
7. 支持自动光强强度调节;
8. 全自动样品台支持150mm样品大小;
9. PC要具备多核处理器和支持64位软件;
10. 三维表面轮廓仪支持无缝拼接,可以把成千上万个数据拼接成一张连续的图像;
11. 三维表面轮廓仪支持分析参数扩展列表中自定义可视化数据,可实时进行自动数据记录和pass/fail判断;
12. 三维表面轮廓仪可自行设置数据输出的界面。
三维表面轮廓仪和粗糙度仪的功能差异主要在以下几个方面
1、关于三维表面轮廓仪与粗糙度仪 轮廓仪与粗糙度仪不是同一种产品,三维表面轮廓仪主要功能是测量零件表面的轮廓形状。 比如:汽车零件中的沟槽的槽深、槽宽、倒角(包括倒角位置、倒角尺寸、角度等),圆柱表面素线的直线度等参数。总之,轮廓仪反映的是零件的宏观轮廓。
2、粗糙度仪的功能是测量零件表面的磨加工/精车加工工序的表面加工质量,通俗地讲,就是零件表面加工得光不光(粗糙度老国标叫光洁度),即粗糙度反映的是零件加工表面的微观情况。 但是,按进口产品翻译过来,没有三维表面轮廓仪和轮廓仪及粗糙度仪之分,即能测量零件表面的宏观轮廓,又能测量零件表面的微观轮廓。
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