行业应用:
1.BGA共面度与平面度测试
2.PCB板瑕疵形貌分析
3.金属表面CNC纹理分析
4.精密刀具3D形貌扫描
BOST-MS100系列技术参数
设备特点:
产品表面段差、高度、宽度、平面度等测量
2D轮廓&3D微观表面形貌分析
2D&3D粗糙度、波纹度、轮廓度测量
多层透明件&半透明件膜厚测量
可配合产线定制非标自动化检测方案
设备技术参数:
XY测量范围:100mm x 100mm
Z轴测量范围: 4mm (可选配50nm~24mm)
光斑直径:8um (较小可达2um以下)
XY轴分辨率:50nm
XY轴重复性:0.5um
Z轴线性度:0.01%F.S (量程范围内 )
Z轴分辨率:0.13um (可选配较小为14nm)
XY轴的扫描速度:100mm/s
可测试样品漫反射的倾角为87度
任何材质产品均可稳定测量,尤其适合玻璃产品