成都国产三维表面轮廓仪

三维表面轮廓仪的功能技术参数
1. Z 方向精度 < 0.01nm；
2. RMS重复性（PSI）< 0.01nm；
3. 能够提供多种FOV，从而让物镜放大倍率在5X到100X之间切换；
4. 在任何物镜倍率下都要达到亚埃级至毫米级垂直测量量程；
5. 支持高亮度的双LED光源；
6. 支持实时观测样品台X、Y、Z、轴方向上的调节；
7. 支持自动光强强度调节；
8. 全自动样品台支持150mm样品大小；
9. PC要具备多核处理器和支持64位软件；
10. 三维表面轮廓仪支持无缝拼接，可以把成千上万个数据拼接成一张连续的图像；
11. 三维表面轮廓仪支持分析参数扩展列表中自定义可视化数据，可实时进行自动数据记录和pass/fail判断；
12. 三维表面轮廓仪可自行设置数据输出的界面。
三维表面轮廓仪的测量光斑尺寸 共聚焦效应较关键的就是将反射光聚焦到针孔上，然后光感应器件接收透过针孔的光信号解析位移测量值，整个光学原理决定着测量光斑越小，系统分辨率和精度越高。欧系传感器的测量光斑都会做到对应量程的较致小，而日系和国产传感器因为收光能力弱，系统稳定性差，只能刻意放大测量光斑尺寸，以至于导致传感器精度严重下降，但是从分辨率上不会明显显现，其实把传感器的测量光斑做的**大就像把传感器做成了“智障”。另外，传感器的横向分辨率是测量光斑的一半，测量光斑大小会决定了传感器的横向分辨率，比如测量一个0.1mm的边沿，测量光斑小的传感器可以轻松测量到，三维表面轮廓仪测量光斑过大的传感器完全无法测量微小的区域。三维表面轮廓仪的光谱共焦位移传感器测量光斑基本在10-20um。
三维表面轮廓仪和粗糙度仪的功能差异主要在以下几个方面
1、关于三维表面轮廓仪与粗糙度仪 轮廓仪与粗糙度仪不是同一种产品，三维表面轮廓仪主要功能是测量零件表面的轮廓形状。 比如：汽车零件中的沟槽的槽深、槽宽、倒角（包括倒角位置、倒角尺寸、角度等），圆柱表面素线的直线度等参数。总之，轮廓仪反映的是零件的宏观轮廓。
2、粗糙度仪的功能是测量零件表面的磨加工/精车加工工序的表面加工质量，通俗地讲，就是零件表面加工得光不光（粗糙度老国标叫光洁度），即粗糙度反映的是零件加工表面的微观情况。 但是，按进口产品翻译过来，没有三维表面轮廓仪和轮廓仪及粗糙度仪之分，即能测量零件表面的宏观轮廓，又能测量零件表面的微观轮廓。
三维表面轮廓仪在测量中是如何计算测量的移动平均
三维表面轮廓仪的光谱共焦技术对于位移测量的稳定性远远**传统的激光位移传感器，所以专业的三维表面轮廓仪光谱共焦位移传感器输出测量值时是不加任何的移动平均的，多数低端光谱共焦位移传感器因为自身稳定性差，都需要加1024次甚至更高的移动平均来让测量数据稳定下来。移动平均较大的问题就是在运动测量中让测量数据完全偏离被测表面真实形状。三维表面轮廓仪的光谱共焦位移传感器正常模式下均采用无移动平均模式测量。
佰视特三维表面轮廓仪在微纳米尺度上的光学表面轮廓测量技术的**者。
佰视特生产的三维表面光学轮廓仪是目前国际上用在科学研究和工业领域较先进表面轮廓测量设备，该公司在光学设计、精密机械和科学软件算法方面，拥有长期不断发展的**技术，由于这些专门技术的应用，佰视特为生产和质量控制的研究和发展提供精密准确的*解决方案。佰视特在微纳米尺度上的光学表面轮廓测量技术的**者，生产的光学轮廓仪是目前国际上用在科学研究和工业领域较先进表面轮廓测量设备，该公司在光学设计、精密机械和科学软件算法方面，拥有长期不断发展的**技术，由于这些专门技术的应用，佰视特为生产和质量控制的研究和发展提供精密准确的*解决方案。 ERT的表面测量系统适用于研发和生产过程控制中的定性和定量测量，其核心部件达到纳米尺度的创新的光学设计，其强大且友好的软件控制使所需获得的数据不仅速度快，而且精度高，并提供了多种不同的表面分析方法，与系统匹配的软件包含参数设定(如扫描尺寸、线数、步进、转换台速度、数据采样速度)和数据后处理功能(如Abbott-Firestone曲线、快速傅立叶变换、自相关功能、三维成像、二维切片成像等) ，可以定量地测量表面粗糙度及关键尺寸，诸如晶粒、膜厚、孔洞深度、长宽、线粗糙度、面粗糙度等，并计算关键部位的面积和体积等参数。 垂直测量范围：27mm 垂直分辨率：<2nm 扫描速度 1m/s 横向分辨率：5nm .
三维表面轮廓仪与其他设备的区别是什么？
三坐标测量机，三维表面轮廓仪与投影仪的区别
三坐标：精度较高。主要测量二维尺寸，三维尺寸都能测量，侧重点能测量三维尺寸，能测量一些空间尺寸，并且能做逆向工程。
投影仪：主要是通过光学原理，将被测量产品投影在一平面放大成像。精度没有三坐标高。
轮廓仪：侧重于一些曲面轮廓尺寸的测量。特别是对一些小特征，其它检测设备不好测量的尺寸，轮廓度就可以测量。三维表面轮廓仪功能强大。
三维表面轮廓仪的另一种功能是非常适合光谱共焦传感器的应用是测量多层透明材料的厚度。
与其他测量方法不同，光谱共焦传感器在测量这种物体时，仅需要一支探头就可以完成测量。测量被测物体前端面和后端面的反射光，从而得到层厚信息。由于测量只使用白光，*额外附加激光安全措施。由于探头本身不含有任何电路，三维表面轮廓仪的传感器探头还可以被用于有防爆要求的环境或者有电磁干扰要求的环境。而控制器可以被放置于安全距离以外。允许较长50m的光纤连接探头和控制器。但是，需要禁止在光路上存在遮挡物或小颗粒，这会影响测量精度，甚至使测量变得不可完成。由于三维表面轮廓仪采用的是光学测量方法，探头到被测物体的距离也有一定限制。
三维表面轮廓仪设备
三维表面轮廓仪的主要性能指标
1. 仪器类型：非接触式三维表面光学轮廓仪；
2. 仪器技术：白光色散共焦测量技术；
3. Z方向扫描范围不可小于10µm；
4. XY方向扫描范围不可小于150mm；
5. 支持样品反射率在0.05%到**之间变化；
6. Z方向聚焦要不小于100mm；
7. Z方向扫描速度不能小于47µm/sec；
佰视特三维表面轮廓仪
光学仪器产品特性：
1 采用白光同轴向色散技术，可获得纳米级的分辨率
2 测量具有非破坏性，测量速度快，精确度高
3 测量范围广，可测透明、金属材料，半透明、高漫反射，低反射率、抛光、粗糙材料(金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿…)；
4 尤其适合测量高坡度高曲折度的材料表面
5 不受样品反射率的影响
6 不受环境光的影响
7 测量简单，样品*特殊处理
8 Z方向较大测量范围为27mm