天津三维表面轮廓仪型号

三维表面轮廓仪在运动中测量，编码器同步硬触发特色功能
三维表面轮廓仪的光谱共焦测量技术因其**的分辨率从研发之初就是作为一种扫描测量的传感器，可以实现运动中扫描测量，不是像传统激光位移传感器只能做**高度测量。中国自动化行业的设备商因为个别家传感器自身的硬件局限还未完全实现通过在运动过程中给硬件I/O触发或者读取编码器信号的方式进行全速的运动中测量。三维表面轮廓仪光谱共焦位移传感器拥有自己的编码器转换和分频模块，可以将编码器差分或单端信号转换成I/O触发给传感器，同时解决了软触发测量效率低、稳定性差以及同步性差的问题。

三维表面轮廓仪的测量光斑尺寸 共聚焦效应关键的就是将反射光聚焦到针孔上，然后光感应器件接收透过针孔的光信号解析位移测量值，整个光学原理决定着测量光斑越小，系统分辨率和精度越高。欧系传感器的测量光斑都会做到对应量程的较致小，而日系和国产传感器因为收光能力弱，系统稳定性差，只能刻意放大测量光斑尺寸，以至于导致传感器精度严重下降，但是从分辨率上不会明显显现，其实把传感器的测量光斑做的**大就像把传感器做成了“智障”。另外，传感器的横向分辨率是测量光斑的一半，测量光斑大小会决定了传感器的横向分辨率，比如测量一个0.1mm的边沿，测量光斑小的传感器可以轻松测量到，三维表面轮廓仪测量光斑过大的传感器完全无法测量微小的区域。三维表面轮廓仪的光谱共焦位移传感器测量光斑基本在10-20um。

三维表面轮廓仪设备
三维表面轮廓仪的主要性能指标
1. 仪器类型：非接触式三维表面光学轮廓仪；
2. 仪器技术：白光色散共焦测量技术；
3. Z方向扫描范围不可小于10µm；
4. XY方向扫描范围不可小于150mm；
5. 支持样品反射率在0.05%到**之间变化；
6. Z方向聚焦要不小于100mm；
7. Z方向扫描速度不能小于47µm/sec；

三维表面轮廓仪之核心部件光谱共焦传感器的特性是什么？
使用光谱共焦传感器的特性主要有以下
使用光谱共焦测量技术，可以得到**高分辨率。纳米级分辨率源于上述经过特殊处理得到的加长光谱范围。由于采用检测焦点的颜色，得到距离信息，光谱共焦传感器可以采用非常小的测量光斑，从而允许测量非常小的被测物体。这也意味着，即使被测表面有非常轻微的划痕，也逃不过光谱共焦传感器的眼睛。
由于三维表面轮廓仪光谱共焦传感器的光路非常紧凑和集中，使其非常适合测量钻孔结构。而其他测量方式，如激光三角反射式测量，对于小孔往往无能为力，因为小孔形成的阴影会遮挡反射光的光路，无法进行测量。针对这种小孔测量任务，三维表面轮廓仪的微型光谱共焦传感器探头。这种探头拥有仅4mm的探头直径，可以探入小孔内部进行测量。

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