3D光学表面形貌测量仪 佰视特MS150

设备仪器共焦测量原理：由光源射出一束宽光谱的复色光(呈白色)，通过色散镜头发生光谱色散，形成不同波长的单色光，每一个波长对应一个到被测物体的距离值。测量光射到物体表面被反射回来，只有满足共焦条件的单色光，可以通过小孔被光谱仪感测到。通过计算被感测到的光的波长，换算获得距离值。

混色光是由众多不同波长光线组成的，我们称之为光谱。所有不同波长的可见光重叠在一起，形成白光。人类肉眼可见光的波长范围从400nm (蓝光)到700nm (红光)。通过透镜，不同颜色的光不会聚焦到同一个点上。这种现象称为色差透镜错误或者叫色差透镜偏差。

众所周知，自然界的日光属白光一种，白光不是较纯洁的光，而是许多单色光组成的。光在不同介质中传播可能会有角度偏差的现象产生，而实际的白光照射下不同介质将有很多单线光的折射。光学材料(透镜)对于不同单色光的折射率是不同的，也就是折射角度不同波长愈短折射率愈大，波长愈长折射率愈小(这也是不同望远镜所谓的色差不同的原因)，同一薄透镜对不同单色光，每一种单色光都有不同的焦距，按色光的波长由短到长，它们的像点离开透镜由近到远地排列在光轴上(不同的单色光的波长是不同的)这样成像就产生了所谓色差透镜错误。色差透镜错误使成像产生色斑或晕环。在摄影器材中，应通过特殊处理，尽量消减色差透镜错误导致的成像问题。常用的消除方法有双胶合系统与双分离系统。

设备特点

产品表面段差、高度、宽度、平面度等测量

2D轮廓&3D微观表面形貌分析

2D&3D粗糙度、波纹度、轮廓度测量

多层透明件&半透明件膜厚测量

可配合产线定制非标自动化检测方案

设备技术参数

XY测量范围：150mm x 150mm

Z轴测量范围： 4mm (可选配50nm~24mm)

光斑直径：8um (较小可达2um以下)

XY轴分辨率：50nm

XY轴重复性：0.5um

Z轴线性度：0.01%F.S (量程范围内 )

Z轴分辨率：0.13um (可选配较小为14nm)

XY轴的扫描速度：100mm/s

可测试样品漫反射倾角为87度

任何材质产品均可稳定测量，尤其适合玻璃产品